微纳CT就是工业CT的一种，是测量更精密的一种设备，三个主要组件是X射线源，旋转控制台和检测器。微纳CT可以以二维断层图像或三维图像的形式清晰，准确，直接地显示被检对象的内部结构和组成，而不会损坏被检对象。 材料和缺陷被称为较好的无损检测技术。
 

　　微纳CT的分辨能力是关键性能指标。包括：空间分辨率：指从CT图像中区分最小物体的能力。浓度分辨率：这是使用图像的灰度来区分被检物体的材质的基本方法(因为灰度直接反映了浓度)。空间分辨率和密度分辨率之间的关系。在一定辐射剂量的情况下，空间分辨率和密度分辨率是两个矛盾的指标。
 

　　微纳CT性能指标：

　　1、检测范围：主要描述ICT的检测对象。如果能够传递钢的最大壁厚，则可以检测出钢零件的最大车削直径，钢零件的最大高度或长度以及钢零件的最大重量。

　　2、所用射线源：X射线能量，工作电压，工作电流和焦距。

　　3、ICT扫描方法：可以使用哪些扫描方法，是否具有数字射线照相检测或实时成像功能等。

　　4、扫描检测时间：指扫描获取断层数据的采集时间。还包括图像重建时间。